La válvula en ángulo de alto vacío de la serie XL proporciona una excelente conductabilidad térmica que produce una temperatura uniforme en todo el cuerpo de la válvula así como una reducción considerable de la condensación de gases en el interior de la válvula. El hecho de que la válvula no contenga metales pesados como el Ni (níquel) o Cr (cromo) y una pulverización baja ayuda a minimizar la contaminación por metales contaminados de placas semiconductoras.

En la serie XM (válvula de ángulo de alto vacío) y XY (válvula en línea de alto vacío) los materiales del cuerpo es de SUS (acero inoxidable). La estructura de la serie XM es idéntica a la de la serie XL, salvo que el material del cuerpo de la serie XL es de aluminio. La serie XM es intercambiable con la serie XL. La fundición de precisión, proceso de fabricación de una pieza de la serie XY, evita las imperfecciones debido a la acumulación de gas lo que evita la porosidad en el cuerpo.