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XGT *, válvula de ranura Alto Vacío

product_img

Series XGT slit valve is suitable for the partition valve between the load lock chamber and the transfer chamber, and between the transfer chamber and the process chamber in semiconductor manufacturing equipment, etc.

  • Long service life: 3 million cycles (within standard temperture range)
  • Low particle generation: reduced by 1/5 or more (compared with the current product)
  • Easier maintenance
  • Easy replacement of bellows
  • Gate can be replaced from above (Made to order)
  • Safety measures
  • A mechanical end lock mechanism has been adopted
Opciones de Configuración
  
 
Copia de Número de configuración Copia de Número de configuración
Seleccionar opciones de producto
Seleccionar valores de las listas desplegables para configurar las referencia.
Tipo Configuration Status
Tamaño de la válvula Configuration Status
Tipo de válvula Configuration Status
Tamaño de ventana de apertura Configuration Status
Junta Tórica Configuration Status
Detector magnético y Conector Configuration Status
Bloqueo en final de carrera Configuration Status
Opciones en:
  • Gris no son compatibles con cualquier otro valor seleccionado.
  • Rojo tienen conflictos con otro valor seleccionado.
  • Ambar no se recomiendan.
Options in:
  • Gris No son compatibles con otro valor de opción seleccionado
  • Rojo Conflicto con otro valor de opción seleccionado
  • Ambar no se recomienda

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