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SL5500, regulador de una sola etapa de ultra alta pureza, flujo bajo

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Serie SL es un regulador de pureza ultra alta (UHP) para la entrega de gas en semiconductores y otras industrias limpias. La serie tiene un diseño sin muelles (sin resorte de asiento en el área mojada), y está disponible en baja para capacidades de flujo intermedios. Las opciones disponibles incluyen Hastelloy ® internals para resistencia a la corrosión, un tipo de conexión de ajuste de soldadura del tubo, y diversos acabados superficiales.
  • Para la entrega UHP gas
  • Capacidad de caudal de 30 litros patrón por minuto
  • Material del cuerpo: 316L SS refusión secundaria
  • Hastelloy