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SL5200, de una sola etapa compacto Regulador de ultra alta pureza

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Serie SL es un regulador de pureza ultra alta (UHP) para la entrega de gas en semiconductores y otras industrias limpias. La serie tiene un diseño sin muelles (sin resorte de asiento en el área mojada), y está disponible en baja para capacidades de flujo intermedios. Las opciones disponibles incluyen Hastelloy ® internals para resistencia a la corrosión, un tipo de conexión de ajuste de soldadura del tubo, y diversos acabados superficiales.
  • Para la entrega de gas UHP
  • capacidad de flujo estándar: a 30 litros patrón por minuto; alta capacidad de flujo: a 130 litros patrón por minuto
  • Material del cuerpo: 316L SS refusión secundaria
  • Hastelloy ® internos disponibles para la corrosión resistencia
  • opción de entrega de presión subatmosférica
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Presión de suministro Configuration Status
Material Configuration Status
Acabado de la superficie Configuration Status
Opciones de rango Configuration Status
puertos Configuration Status
Conexiones, Ensenada Configuration Status
Conexiones, Outlet Configuration Status
Medir puerto, Enchufe Configuration Status
Unidad Indicador de presión Configuration Status
material del asiento Configuration Status
especificación de flujo Configuration Status
Opciones en:
  • Gris no son compatibles con cualquier otro valor seleccionado.
  • Rojo tienen conflictos con otro valor seleccionado.
  • Ambar no se recomiendan.
Options in:
  • Gris No son compatibles con otro valor de opción seleccionado
  • Rojo Conflicto con otro valor de opción seleccionado
  • Ambar no se recomienda

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